제품소개

Exceeding customers’ expectation on quality & performance

진공로봇

Vacuum Robot 진공상태에서 제조되는 반도체, FPD 등의 생산공정에 필수적인 이송로봇으로,
특히 8세대 이상의 중대형 FPD용 진공로봇분야에서 세계최고수준의 내구성과 성능을 제공합니다.

01

파티클 최소화
(진공환경 유지)

(Class 1= 0.5㎛, 1개)

02

고진공, 고온 하에서
안정적인 구조 설계

고진공(-107Torr) / 고온(500°C)

03

고속 / 고하중 이송으로
생산성 우위 확보

고속(20초) / 고하중(200Kg)

04

높은 신뢰성과
반복정밀도 제공

반복정밀도 (±0.1mm~±0.5mm)

Hybrid Type

Hybrid Type 진공로봇

설비 특장점
  • 6세대 OLED 생산 시 고온, 파티클 환경 조건 해결
  • 리니어형과 링크형의 장점 결합
  • 1. 리니어형 장점 : 반복정밀도, 고하중, 고온 적합
  • 2. 링크형 장점 : 최소 파티클 발생

Scissors Type

Scissors Type 진공로봇

설비 특장점
  • 10 세대이상 OLED / LCD 생산 시 고온, 투자비 절감 해결
  • 시소 구조로 인한 FAB 설계 시 낮은 층고 유지 (클린룸 시설비, 유지비 절감)
  • 고하중, 고온에 강한 암, 바디 구조

Link Type

Link Type 진공로봇

설비 특장점
  • 6세대 OLED 공정용
  • 분진(Particle) 발생 최소화
  • 최소 회전반경으로 로봇설치 장비의 크기 축소가능

Linear Type

Linear Type 진공로봇

설비 특장점
  • 8세대 OLED / LCD 생산 공정용
  • 고하중 글래스를 안정적으로 이송
  • 핸드의 처짐 및 떨림기능 최소화하여 반복정밀동 향상